美國愛佩儀自動(dòng)精密激光干涉儀

美國愛佩儀自動(dòng)精密激光干涉儀

API XD Laser™ 為無線產(chǎn)品，可選三種不同的準(zhǔn)確性等級(jí)。

技術(shù)綜述：

1D激光主要可以測量定位誤差

3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)

5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

API激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：

1. 線性：0.5ppm .

2. 測量范圍：40米(1D可選80米)

3. 線性分辨力：0.001um.

4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5. 最大范圍：800角秒

6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒

7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8. 直線度最大范圍：500um

9. 垂直度精度：1角秒

10. 溫度精度：0.2攝氏度

11.濕度精度：5%

12.壓力精度：1mmHg

API激光干涉儀主要特點(diǎn)

1. 同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器

3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米

4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。

5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測量機(jī)床時(shí)不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間